氣體流程。系統接通電源后，泵開始運行，當抽至系統控制閥兩端壓差達到3kPa時，系統控制閥打開，氣體經過進氣管進入真空泵中，壓縮后從排氣管排至汽水分離器中，經汽水分離器后從止回閥排出，完成氣體抽吸過程。

液體流程。工作液流經自動補水閥，或通過旁路門流入汽水分離器中后，經液流管道送到熱交換器中冷卻。冷卻后的水送到水環泵內，部分水經噴射送到氣體進入泵中。泵在運轉過程中，隨氣體排出帶走部分工作液，從排氣管排至汽水分離器中，再經冷卻送人泵內，如此形成一個封閉的循環系統。汽水分離器中的水位由自動補水閥和自動排水閥調整。